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J-GLOBAL ID：200903038993961593
液晶表示装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995076664
Publication number (International publication number)：1997061841
Application date： May. 06, 1982
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：
【要約】【目的】ゲートラインとソースラインの交差部の耐圧を向上させるとともに薄膜トランジスタの層間絶縁膜の耐水性を向上させる。【構成】ゲートライン9とソースライン10の交差部の絶縁膜及び薄膜トランジスタの層間絶縁膜として絶縁膜14ー1及び14ー2を設け、該絶縁膜14ー1、14ー2の少なくとも一方はシリコン窒化膜からなる。【効果】静電気破壊によって生じた欠陥が一画素の点欠陥で済み、ライン欠陥が引き起こされず、さらに薄膜トランジスタの耐水性が向上される。
Claim (excerpt)：
複数のゲート線と、該複数のゲート線と絶縁膜を介して直交してなる複数のソース線と、該複数のゲート線と該複数のソース線の交点に設けられた薄膜トランジスターと、該薄膜トランジス夕一に接続された電荷保持用コンデンサーとよりなるマトリックスアレーにおいて、前記電荷保持用コンデンサーは2つの電極間に第lの絶縁層を挟持してなり、前記ゲート線と前記ソース線の交差領域の前記絶縁膜は、前記第lの絶縁層と、第2の絶縁層とからなり、かつ前記絶縁膜は少なくとも前記電荷保待用コンデンサーの第lの絶縁層より厚いことを特徴とするマトリックスアレー。
IPC (2)：
G02F 1/136 500
, H01L 29/786
G02F 1/136 500
, H01L 29/78 612 A
