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J-GLOBAL ID：200903038998334341

作業管理方法及び管理装置

Inventor： 北村 光悦
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 加藤 朝道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996168288
Publication number (International publication number)：1997330861
Application date： Jun. 07, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】半導体装置製造ラインにおいて、処理手順を予測して、作業レベルに対応した作業者を割り当てることで、正確な作業計画を出力して、出力された作業データをもとに作業者に作業指示することでリソースを十分に利用することで生産性を向上させる装置及び方法の提供。【解決手段】製造ライン112の状態および作業内容、作業条件などのデータを記憶し、該データをもとに、作業手順予測部109にて製造ライン112のモジュールを作成し、製品の流れを予測し、該予測結果に基づき作業割り当て部111にて作業レベルにあった作業リソースを割り当て、作業計画を作成し、端末103を介して作業者に作業指示を行う。

Claim (excerpt)：

製造ラインの状態、作業内容、及び作業条件などのデータを記憶し、該記憶されたデータをもとに前記製造ラインのモジュールを作成して製品の流れを予測し、該予測結果に基づき作業レベルに適った作業リソースを自動で割り当てて作業計画を作成し、該作業計画に基づき作業者に作業指示を行うことを特徴とする作業管理方法。

IPC (3)：

H01L 21/02 ,  B23Q 41/08 ,  G06F 17/60

FI (3)：

H01L 21/02 Z ,  B23Q 41/08 A ,  G06F 15/21 R