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J-GLOBAL ID：200903039010505339
ステージ駆動機構
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991199220
Publication number (International publication number)：1993304081
Application date： Aug. 08, 1991
Publication date： Nov. 16, 1993
Summary：
【要約】【目的】 短時間にステージを移動させても、振動の影響を極めて少なくすることができるステージ駆動機構を実現する。【構成】 制御回路15からモータ11と12に駆動制御信号が供給される。この結果、ボールねじ軸3は回転し、このねじ軸3の回転によってボールナット4は、例えば、図中右方向に移動する。ボールナット4の右方向への移動に伴い、ステージ2も右方向に移動する。一方、補助ボールねじ軸7はボールねじ軸3と同じ回転を行うが、その回転方向は逆方向となっている。そのため、補助ボールねじ軸7に噛み合っているウェイト8は、ステージ2の右方向への移動とは逆に左方向に移動させられる。ボールねじ軸3と補助ボールねじ軸7は、ステージ2の所定距離の移動の後、回転が停止させられる。
Claim (excerpt)：
ステージベース上に配置された第1のボールねじ軸と、第1のボールねじ軸と噛み合わされたボールナットと、ボールナットに接続されたステージと、第1のボールねじ軸を回転させるためのモータと、第1のボールねじ軸に平行に、ステージベース上に配置された第2のボールねじ軸と、第2のボールねじ軸に噛み合わされたウェイトと、第2のボールねじ軸を回転させるためのモータとを備えており、第1のボールねじ軸の回転によってステージを直線状に移動させ、この第1のボールねじ軸の回転と同期して第2のボールねじ軸を回転させ、ウェイトをステージの移動とは逆の向きに移動させるように構成したステージ駆動機構。
IPC (3)：
H01L 21/027
, B23Q 5/40
, H01L 21/68
