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J-GLOBAL ID:200903039049970969
光検出デバイスおよびその駆動方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
植本 雅治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992163592
Publication number (International publication number):1993335604
Application date: May. 29, 1992
Publication date: Dec. 17, 1993
Summary:
【要約】【目的】 集光レンズ部,光導波路における屈折率制御性を高くすることができ、また、製造工程が簡単となり量産性を高くすることなどが可能となる。【構成】 入射した信号光を集光するための集光レンズ部7と、集光レンズ部7で集光された光を導波させるための光導波路4と、光導波路4からの光を受光して光電変換を行なうための光導電層6とが、基板1上に形成されており、集光レンズ部7,光導波路4,光導電層6は、無定形炭素材料で形成されている。
Claim (excerpt):
入射した信号光を集光するための集光レンズ部と、集光レンズ部で集光された光を導波させるための光導波路と、光導波路からの光を受光して光電変換を行なうための光導電層とが、基板上に形成されており、前記集光レンズ部,光導波路,光導電層は、無定形炭素材料で形成されていることを特徴とする光検出デバイス。
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