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J-GLOBAL ID：200903039090753710

異物検査装置

Inventor： 井古田 まさみ
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992331574
Publication number (International publication number)：1994180293
Application date： Dec. 11, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 異物検査光の照射角度に制約がなく、膜厚の影響を受けない異物検査技術を提供する。【構成】 異物9の付着が想定される半導体ウェハ5に異物検査光源1による検査光を照射し、その際の異物9からの散乱光を検出して異物の存在を検出する異物検査装置であって、異物検査光源1にHgランプ、Xeランプなどの多色光を発生するものを用いる。

Claim (excerpt)：

検査用光源からの光を試料に照射し、その際の散乱光を検出して異物の存在を検出する異物検査装置であって、前記検査用光源が多色光を発生することを特徴とする異物検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66