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J-GLOBAL ID：200903039109756333

静電アクチュエータ

Inventor： 山本 正広 ,  小池 桂一 ,  佐藤 恒夫
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 佐々木 宗治 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993123724
Publication number (International publication number)：1994339285
Application date： May. 26, 1993
Publication date： Dec. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 移動体の搬送の方向性を良くした静電アクチュエータを得ること。【構成】 方形の絶縁体2と、絶縁体2中に設けられた複数の電極11とからなり、上記電極11はその形状を周期三角波形にしたから、移動体中心と電極中心とのズレが所定値以下であれば、移動体6の移動方向と直角な方向への拘束力を発生させるため、移動体6に斜行などが発生せず安定した搬送が行なえる。

Claim (excerpt)：

方形の絶縁体と、絶縁体中に設けられた複数の電極とからなる静電気力を利用して高抵抗な移動体を動かす静電アクチュエータにおいて、上記電極は周期三角波形に形成したことを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (3)：

H02N 1/00 ,  B25J 19/00 ,  G03G 15/00 108