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J-GLOBAL ID：200903039123413198
走査型近接場光学顕微鏡用探針及び走査型近接場光学顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998122196
Publication number (International publication number)：1999316241
Application date： May. 01, 1998
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：
【要約】【課題】散乱光の検出角度が制限されること無く、広い角度範囲の散乱光を検出することが可能な走査型近接場光学顕微鏡用探針及び走査型近接場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型近接場光学顕微鏡の探針8は、自由端に突起部10が設けられた短冊形レバー部12と、このレバー部の基端を支持する支持部14とから構成されており、突起部10は、先端が先鋭化した四面体形状を成した突起部基部200と、この突起部基部の先端に設けられた散乱体202とから構成されている。レバー部の背面には、突起部の背面側のレバー部の先端領域Wを除いた部分に所定の厚さのアルミニウム膜20がコーティングされている。このため、探針は、突起部基部及びレバー部の先端領域が、入射光の波長又は画像化に利用する光の波長に対して透明となっている。
Claim (excerpt)：
探針に近接して配置された試料の観察対象部位に光を照射して、試料の表面近傍に光の場を形成させた状態において、探針を試料に沿って移動させて走査をした際に、探針によって前記光の場から散乱した散乱光に基づいて、試料を観察する走査型近接場光学顕微鏡に用いられる探針であって、前記探針の先端部分には、前記光の場から光を散乱させる散乱体が設けられており、且つ、散乱体が設けられた位置の近傍の材質は、この散乱体が設けられた側からその裏側に亘って透明な材質で構成したことを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡用探針。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 37/00 E
, G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
