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J-GLOBAL ID：200903039130227170

窒化ケイ素粉末の製造方法

Inventor： 桑原 治由 ,  野口 直也 ,  大塚 昭男 ,  樫田 周
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992059811
Publication number (International publication number)：1993221617
Application date： Feb. 14, 1992
Publication date： Aug. 31, 1993
Summary：

【要約】【構成】 内部酸素を実質的に含まず、外部酸素量が0.4重量%以下、BET比表面積が10m2/g以上、平均粒子径が0.8μm以下の窒化ケイ素粉末を製造するにあたり、平均粒子径が8μm以上、酸素含有量が0.3重量%以下である金属ケイ素粉末を水分量が1000ppm以下の窒素ガス又は窒素を含む非酸化性ガス雰囲気中で窒化し、粉砕することを特徴とする窒化ケイ素粉末の製造方法を提供する。【効果】 本発明の製造方法によれば、内部酸素を含まない低酸素窒化ケイ素粉末を簡単かつ確実に製造することができ、本発明の製造方法により製造された窒化ケイ素粉末は、これを焼結することにより高温においても強度に優れた窒化ケイ素焼結体を得ることができる。

Claim (excerpt)：

内部酸素を実質的に含まず、外部酸素量が0.4重量%以下、BET比表面積が10m2/g以上、平均粒子径が0.8μm以下の窒化ケイ素粉末を製造するにあたり、平均粒子径が8μm以上、酸素含有量が0.3重量%以下である金属ケイ素粉末を水分量が1000ppm以下の窒素ガス又は窒素を含む非酸化性ガス雰囲気中で窒化し、粉砕することを特徴とする窒化ケイ素粉末の製造方法。