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J-GLOBAL ID：200903039138761958

チャンバシステム

Inventor： 石川 勝彦 ,  田辺 義和
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993088277
Publication number (International publication number)：1994302667
Application date： Apr. 15, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 少なくともウェハ搬送チャンバの1つが故障した場合でも、その影響を受けることなくシステムを稼働できるようにする。【構成】 半導体ウェハに対して各種の処理を行うプロセスチャンバ13,14をウェハ搬送チャンバ1に接続して構成された1つのマルチチャンバを複数個用いてリング状に連結すると共に、マルチチャンバ間の接続部にプロセスチャンバ7,12を配設し、且つこれらのプロセスチャンバを搬送チャンバに兼用する。同様に他のウェハ搬送チャンバ相互間にプロセスチャンバ8,9,10,11,12を設ける。

Claim (excerpt)：

半導体ウェハに対して各種の処理を行うプロセスチャンバの複数をウェハ搬送チャンバに接続した構成のマルチチャンバを用いたチャンバシステムであって、前記マルチチャンバの複数個を連結接続すると共に、その接続部にプロセスチャンバを配設し、且つこのプロセスチャンバを搬送チャンバに兼用することを特徴とするチャンバシステム。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  C23C 14/56 ,  H01L 21/02 ,  B05C 9/00 ,  B05C 11/08