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J-GLOBAL ID:200903039174093392

レーザ非接触歪み計

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 倉内 義朗
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996112713
Publication number (International publication number):1997297009
Application date: May. 07, 1996
Publication date: Nov. 18, 1997
Summary:
【要約】【課題】 二光束方を用いた電子式スペックル干渉法に基づくレーザ非接触歪み計において、比較的大きな歪みでも連続的に、かつ、高速の演算装置を用いることなくリアルタイムでの計測を可能とする。【解決手段】 異なる時点で得た複数の画像を記憶する記憶手段33に、基準画像のほかに、その基準画像を用いて歪みを算出している間に得た少なくとも一つの画像を記憶し、演算部30による歪みの算出は基準画像と刻々のサンプリング画像との間で行い、かつ、ある歪み量に達した時点で基準画像を更新するが、新基準画像は、更新前のある時点で記憶したサンプリング画像とすることで、更新直後のサンプリング画像との間に既に所定の歪みが生じている状態とし、測定結果にブランクを生じることなく大きな歪みをリアルタイムで連続的に測定することを可能とする。
Claim (excerpt):
レーザビームをビームスプリッタによって2つの光路に分岐させた後、被測定試料の表面上に当該試料の変形方向に所定の角度を持たせて照射する照射光学系と、そのレーザビームの試料による散乱光に含まれるスペックルパターンを検出するためイメージセンサと、そのイメージセンサからの出力を用い、被測定試料の変形前後に得られた2つの画像のパターンによってできる干渉縞から被測定試料の歪み分布を算出する演算部を備えた歪み計において、互いに異なる時点で得られた複数の画像のデータを記憶する記憶手段を有し、上記演算部は、所定の時点で得られて記憶手段に記憶されている画像を基準画像として、上記イメージセンサから新たな画像が取り込まれるごとに、そのサンプリング画像と基準画像を用いて刻々の歪みを算出し、かつ、その歪みの量が当該基準画像と刻々のサンプリング画像とを用いて算出可能な上限に達するまでの所定のタイミングで基準画像を更新するよう構成されているとともに、一つの基準画像が使用されている間に刻々と得られるサンプリング画像のうちの少なくとも一つを記憶手段に記憶し、その記憶されたサンプリング画像を、基準画像の更新時における新たな基準画像として採用することを特徴とするレーザ非接触歪み計。
IPC (2):
G01B 11/16 ,  G01N 3/06
FI (2):
G01B 11/16 G ,  G01N 3/06

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