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J-GLOBAL ID：200903039175753663
基板搬送装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993249918
Publication number (International publication number)：1995086371
Application date： Sep. 10, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：
【要約】【目的】 基板処理の効率を落とさずに能率的にハンドを温度調節する。【構成】 ハンド150a,150bが単位処理部から後退した位置において、ハンド間隔駆動ユニット160によりハンド150a,150bの間隔を変化させて、ハンド150a,150bの下面をそれぞれ冷却板171、172に接触させてハンド150a,150bを冷却する。【効果】 基板搬送装置のハンド後退位置において、しかも冷却板に直接接触させて短時間で冷却するので、基板搬送装置の移動時間内にハンドを冷却することができ、基板処理効率を低下させない。
Claim (excerpt)：
基板を複数の単位処理部間に搬送する基板搬送装置であって、前記基板が載置される基板載置手段と、前記単位処理部方向に進出した第1の位置と、前記単位処理部から後退した第2の位置との間で前記基板載置手段を移動させる駆動手段と、前記第2の位置において前記基板載置手段に接触し、当該基板載置手段を所定の温度に調節する温度調節手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2)：
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