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J-GLOBAL ID：200903039177938598

圧電アクチュエータの駆動方法

Inventor： 林 誠 剛 ,  白 露 幸 祐 ,  橘 高 敏 彦 ,  伴 野 国 三 郎
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 岡田 全啓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993040524
Publication number (International publication number)：1994232469
Application date： Feb. 03, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 低コストを維持し、システム全体を小型にしたまま、印加電圧と変位量との関係の線形性を良好にして使用されることによって、微小電圧域の位置決め精度を向上させることができる圧電アクチュエータの駆動方法を提供する。【構成】 分極処理された圧電体基板12aおよび12bを含む圧電アクチュエータ10にバイアス電圧Va1およびVa2を印加する。それから、圧電アクチュエータ10に駆動電圧Vd を印加して、圧電体基板12を屈曲させる。すなわち、圧電アクチュエータ10によって、電気的エネルギが機械的エネルギに変換される。

Claim (excerpt)：

分極処理された圧電体基板を含む圧電アクチュエータにバイアス電圧を印加する工程、および前記圧電アクチュエータに駆動電圧を印加して、前記圧電体基板を屈曲させる工程を含む、圧電アクチュエータの駆動方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開昭54-092084
  
• 特開平3-195304
  
• 特開昭54-092307
  
• 搬送装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-103901   Applicant：ヤマハ発動機株式会社
• 特開昭54-092084
  
• 特開昭54-092307