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J-GLOBAL ID:200903039179932600

保護膜

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 敬 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001342308
Publication number (International publication number):2003147525
Application date: Nov. 07, 2001
Publication date: May. 21, 2003
Summary:
【要約】【課題】 基材に耐摩耗性向上のために硬質膜が堆積されている部材において、基材自体が変形して硬質膜に大きなひずみが加えられても硬質膜が基材から剥離しにくい部材を提供する。【解決手段】 基材上に、セグメントに分割して形成された膜を堆積してなるセグメント形態の保護膜。
Claim (excerpt):
基材上に、セグメントに分割して形成された膜を堆積してなるセグメント形態の保護膜。
IPC (4):
C23C 16/04 ,  C23C 14/04 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/27
FI (4):
C23C 16/04 ,  C23C 14/04 A ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/27
F-Term (22):
4K029AA02 ,  4K029AA11 ,  4K029BA17 ,  4K029BA34 ,  4K029BA35 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K030AA09 ,  4K030BA18 ,  4K030BA28 ,  4K030BA29 ,  4K030BB13 ,  4K030CA02 ,  4K030CA07 ,  4K030DA05 ,  4K030FA01 ,  4K030JA01 ,  4K030LA01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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