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J-GLOBAL ID：200903039214162660

タングステンまたはモリブデンターゲット

Inventor： 平木 明敏
Applicant, Patent owner： 日立金属株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998007153
Publication number (International publication number)：1998183341
Application date： Nov. 02, 1989
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 微細組織であり、かつ高密度を有するタングステンまたはモリブデンターゲットの提供。【解決手段】 本発明は、平均粒径 10μm以下の微細組織を有し、かつ相対密度が99%以上であるタングステンまたはモリブデンターゲットである。

Claim (excerpt)：

平均粒径 10μm以下の微細組織を有し、かつ相対密度が99%以上であることを特徴とするタングステンまたはモリブデンターゲット。

IPC (3)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/285 ,  B22F 5/00

FI (3)：

C23C 14/34 A ,  H01L 21/285 S ,  B22F 5/00 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-216966
  
• 特開昭57-056150
  
• 特開昭61-186213