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J-GLOBAL ID：200903039221797883

終点検出方法

Inventor： 斉藤 進 ,  坂野 真治
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 小原 肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999136664
Publication number (International publication number)：2000331985
Application date： May. 18, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】 プラズマから放射される発光スペクトルのうち、特定波長のみをモニターしながら終点の検出を行っているため、プロセス毎に特定波長を探し出さなくてはならず、しかも低開口のエッチングでは特定波長の発光強度が弱く、S/N比が悪くなり正確な終点検出が難しくなる。【解決手段】 本発明の終点検出方法は、エッチング時の発光スペクトルをポリクロメータ19により検出してその終点を検出する方法において、ウエハWのエッチングに先立って予めプラズマのフルスペクトルを逐次測定し、全てのフルスペクトルそれぞれの全波長の発光強度を用いて発光スペクトルの主成分分析を行い、その後、実際のエッチング時には逐次測定されたフルスペクトル毎にそれぞれの全波長の発光強度に基づいて主成分得点を求めた後、逐次測定されるフルスペクトル毎の主成分得点の実質的な変化に基づいて終点を検出する。

Claim (excerpt)：

被処理体をプラズマを用いてエッチングする際に、光検出手段によりプラズマの発光スペクトルを逐次検出し、発光スペクトルの変化に基づいてエッチングの終点を検出する方法において、上記被処理体のエッチングに先立って予め上記被処理体と同一種の被処理体をエッチングし、その際のプラズマのフルスペクトルを逐次測定する工程と、エッチング終了までに蓄積された各フルスペクトルの全波長をそれぞれの発光強度に即して重み付けをした重み係数を各フルスペクトル毎に求める工程とを有し、且つ、上記被処理体の実際のエッチング時には逐次測定されるフルスペクトル毎に全波長の発光強度をそれぞれの上記重み係数を加味して加算する工程と、逐次測定されるフルスペクトル毎の発光強度の加算値の実質的な変化に基づいて終点を検出する工程とを有することを特徴とする終点検出方法。

F-Term (4)：

5F004CB02 ,  5F004CB14 ,  5F004CB16 ,  5F004CB17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-229620
  
• プラズマ処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-223687   Applicant：東京エレクトロン山梨株式会社, 科学技術振興事業団