近接場光顕微鏡および近接場光顕微鏡による試料観察方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999106580
Publication number (International publication number)：2000298132
Application date： Apr. 14, 1999
Publication date： Oct. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】近接場信号を良好なS/Nで検出できる走査型近接場光顕微鏡を提供する。【解決手段】試料1が載置されたスライドガラス2はマッチングオイル4を介して内部全反射プリズム3の上に配置される。試料1にはプリズム3を通してレーザー光が照射され、試料表面には近接場が発生する。試料1の上方にはカンチレバー101の自由端に支持された探針102が配置され、その上方には対物レンズ19が配置されている。対物レンズ19の上方には散乱光検出鏡筒222が配置されており、これは対物レンズ19と共働して、近接場への探針102の進入により発生する散乱光を検出する散乱光検出光学系を構成する。試料1に照射されるレーザー光を発する光源13は波長可変であり、探針102の先端に応じて、プラズモン共鳴が発生する波長の光が選択される。

Claim (excerpt)：

試料表面に光を入射させる入射手段と、上記光の波長以下の大きさの先端を有し、この先端が上記光の入射する試料表面に近接した位置に配設された、この先端で上記光を散乱させる探針と、上記散乱による散乱光を検出する光検出手段と、上記試料と上記探針の先端を相対的に走査する走査手段とを具備する近接場光顕微鏡において、上記散乱においてプラズモン共鳴が発生するように構成されていることを特徴とする近接場光顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 37/00 , G01B 11/30

FI (4)：

G01N 37/00 D , G01N 37/00 E , G01N 37/00 F , G01B 11/30 Z

F-Term (15)：

2F065FF43 , 2F065FF46 , 2F065FF67 , 2F065GG06 , 2F065HH03 , 2F065HH04 , 2F065JJ18 , 2F065JJ23 , 2F065LL12 , 2F065LL21 , 2F065LL35 , 2F065MM03 , 2F065PP22 , 2F065PP24 , 2F065QQ41

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