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J-GLOBAL ID：200903039239373940

気化容器

Inventor： 佐藤 幸平 ,  金子 功 ,  大崎 浩美 ,  朝倉 和之
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小宮 良雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992323057
Publication number (International publication number)：1994173011
Application date： Dec. 02, 1992
Publication date： Jun. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 簡単な構造で、効率よく安定的に固体有機金属化合物を気化させることのできる有機金属化合物の気化容器を提供することを目的とする。【構成】 本発明の気化容器は、キャリヤガス導入管2と混合気排出管3とがそれぞれ容器1内で開口し、伝熱管4がその容器1内を貫通している。伝熱管4の本数は2〜5本、しかもそれらが底壁と平行に設けられているとよく、キャリヤガス導入管2は底部で、混合気排出管3はその上方で開口しているとよい。

Claim (excerpt)：

キャリヤガス導入管と混合気排出管とがそれぞれ容器内で開口し、伝熱管がその容器内を貫通していることを特徴とする気化容器。