Pat

J-GLOBAL ID：200903039249983895

表面欠陥検査方法及び装置

Inventor： 奥野 眞
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 高矢 諭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000068897
Publication number (International publication number)：2001255275
Application date： Mar. 13, 2000
Publication date： Sep. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】 搬送方向に伸びる欠陥だけではなく、従来法では検出が困難であった幅方向に伸びる低コントラストの欠陥の検出を可能とする。【解決手段】 一方向に搬送される被検査物10の表面に、帯状の光を搬送方向に対して斜めに照射すると共に、同じく斜めに配置したリニア撮像素子14により被検査物上の該照射部分を撮像して逐次ビデオ信号を得、該ビデオ信号に基づいて、被検査物の表面欠陥を検出する。

Claim (excerpt)：

一方向に搬送される被検査物の表面上に、帯状の光を搬送方向に垂直な方向に対して0°を越えて45°以下の角度θだけ傾けて照射すると共に、被検査物の搬送に伴ってリニア撮像素子により被検査物上の該照射部分を撮像して逐次ビデオ信号を得、該ビデオ信号に基づいて被検査物の表面欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/892 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/30

FI (3)：

G01N 21/892 B ,  G01B 11/00 H ,  G01B 11/30 A

F-Term (33)：

2F065AA03 ,  2F065AA61 ,  2F065BB13 ,  2F065CC00 ,  2F065CC06 ,  2F065DD09 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG16 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065KK01 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS13 ,  2F065UU07 ,  2G051AA31 ,  2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051EA14 ,  2G051EA30 ,  2G051ED07 ,  2G051FA10