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J-GLOBAL ID：200903039292039440

切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法

Inventor： 鏑木 新吾 ,  芦田 昭雄 ,  木内 悦男 ,  早川 和男 ,  外山 公平
Applicant, Patent owner： 信越半導体株式会社 ,  大智化学産業株式会社 ,  三益半導体工業株式会社
Agent (1)： 舘野 公一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994224237
Publication number (International publication number)：1996057847
Application date： Aug. 25, 1994
Publication date： Mar. 05, 1996
Summary：

【要約】【目的】 非水溶性切削油を用いた場合における引火の危険性や、被切削材洗浄工程に伴う有機溶剤による大気汚染問題を解決するとともに、大径のシリコン単結晶等のインゴットを切断するときのスライス品の反りを低下させる。【構成】 有機および/または無機ベントナイトと、水と、アルカノールアミンと高級脂肪酸とを反応させてなる脂肪酸アミンとの均一混合物を主成分とし、この主成分に保水性向上剤、洗浄性向上剤、摩擦係数低下剤、防錆力補助剤、洗浄性向上補助剤および消泡剤等の補助剤を添加することにより水溶性切削液とする。

Claim (excerpt)：

有機ベントナイトまたは無機ベントナイトの少なくとも一方と、水と、アルカノールアミンと高級脂肪酸とを反応させてなる脂肪酸アミンとの均一混合物を主成分として含有することを特徴とする切削液。

IPC (12)：

B28D 5/04 ,  B24B 27/06 ,  C09K 3/14 550 ,  C10M109/02 ,  C10M173/02 ,  H01L 21/304 311 ,  C10M105:24 ,  C10M105:62 ,  C10M109:02 ,  C10M103:06 ,  C10N 40:22 ,  C10N 70:00