パターン形成方法及び感光性樹脂組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鍬田充生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000094273
Publication number (International publication number)：2001281878
Application date： Mar. 30, 2000
Publication date： Oct. 10, 2001
Summary：

【要約】【課題】光学素子としても利用可能な断面形状において傾斜した側壁を有するパターンを形成する。【解決手段】感光層の露光、現像に伴って、露光部における面方向の露光量又は露光した感光層に対する現像剤の噴出方向をコントロールすることにより、断面形状において傾斜した側壁を有するパターンを形成する。前記面方向の露光量は段階的又は連続的に低減させてもよく、前記現像剤は、パターン露光後、感光層に対して斜め方向から噴出させてもよい。現像剤は、水性現像剤であってもよい。現像は、現像剤を感光層に対して15〜75°の角度で噴射(噴出)させることにより行ってもよく、噴出は高圧(例えば、700〜5000N/cm2程度の圧力)で行ってもよい。前記感光層の少なくとも表層部は、感光性オリゴマー又はポリマーと微粒子とで構成できる。

Claim (excerpt)：

感光層をパターン露光、現像することによりパターンを形成する方法であって、露光部における面方向の露光量又は露光した感光層に対する現像剤の噴出方向をコントロールし、断面形状において傾斜した側壁を有するパターンを形成する方法。

IPC (14)：

G03F 7/30 , C08F 2/44 , C08F 2/48 , C08F 2/50 , C08K 3/00 , C08L101/00 , G02B 5/18 , G03F 7/004 501 , G03F 7/012 , G03F 7/021 501 , G03F 7/027 504 , G03F 7/11 503 , G03F 7/40 , H01L 21/027

FI (16)：

G03F 7/30 , C08F 2/44 A , C08F 2/44 C , C08F 2/48 , C08F 2/50 , C08K 3/00 , C08L101/00 , G02B 5/18 , G03F 7/004 501 , G03F 7/012 , G03F 7/021 501 , G03F 7/027 504 , G03F 7/11 503 , G03F 7/40 , H01L 21/30 514 C , H01L 21/30 569 F

F-Term (133)：

2H025AA03 , 2H025AB01 , 2H025AB14 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BA03 , 2H025BA06 , 2H025BC03 , 2H025BC04 , 2H025BC14 , 2H025BC34 , 2H025BC43 , 2H025CB51 , 2H025CC08 , 2H025DA35 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H025FA39 , 2H049AA03 , 2H049AA13 , 2H049AA33 , 2H049AA43 , 2H049AA45 , 2H049AA46 , 2H049AA48 , 2H049AA63 , 2H096AA01 , 2H096BA02 , 2H096BA03 , 2H096BA05 , 2H096CA05 , 2H096EA11 , 2H096GA08 , 2H096GA26 , 2H096HA01 , 4J002AB011 , 4J002AB021 , 4J002AB031 , 4J002AD011 , 4J002BB031 , 4J002BB061 , 4J002BB121 , 4J002BC031 , 4J002BC032 , 4J002BC061 , 4J002BE021 , 4J002BE031 , 4J002BE041 , 4J002BE061 , 4J002BF021 , 4J002BG011 , 4J002BG032 , 4J002BG041 , 4J002BG042 , 4J002BG051 , 4J002BG052 , 4J002BG061 , 4J002BH011 , 4J002BH021 , 4J002BJ001 , 4J002BP011 , 4J002BQ001 , 4J002CC001 , 4J002CC031 , 4J002CC032 , 4J002CC041 , 4J002CC181 , 4J002CD002 , 4J002CD201 , 4J002CF002 , 4J002CF161 , 4J002CF211 , 4J002CG001 , 4J002CG002 , 4J002CH021 , 4J002CK011 , 4J002CK021 , 4J002CL001 , 4J002CL002 , 4J002CM011 , 4J002CP031 , 4J002DA076 , 4J002DA096 , 4J002DA116 , 4J002DE076 , 4J002DE096 , 4J002DE106 , 4J002DE136 , 4J002DE146 , 4J002DE186 , 4J002DE236 , 4J002DG046 , 4J002DG056 , 4J002DH046 , 4J002DJ016 , 4J002DL006 , 4J002GP03 , 4J011AC04 , 4J011QB03 , 4J011QB08 , 4J011QB14 , 4J011QB16 , 4J011QB17 , 4J011QB19 , 4J011QB23 , 4J011QB24 , 4J011QC01 , 4J011QC06 , 4J011SA01 , 4J011SA02 , 4J011SA12 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011SA80 , 4J011SA84 , 4J011SA86 , 4J011SA87 , 4J011SA88 , 4J011TA06 , 4J011TA09 , 4J011TA10 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 5F046DA02 , 5F046LA03 , 5F046LA04 , 5F046LA14 , 5F046NA01

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