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J-GLOBAL ID：200903039377808850
可変速度ウエハ交換ロボット
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994165341
Publication number (International publication number)：1995307373
Application date： Jul. 18, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：
【要約】【目的】 プロセスチャンバや蓄積装置の間でウエハやその他の基板類を移送するための改良されたロボットを提供すること。【構成】 複数のステーションの近傍に位置する可変速度ロボットであって、ウエハの保持が可能であり、あるときはウエハを保持しながら、あるときはウエハを保持することなく複数のステーションの間で動けるウエハ支持体を備えている。ウエハ支持体は、ウエハ支持体自身を回転軸について回転させると共に、引き込み位置と延伸位置との間の往復運動をさせる駆動装置に接続されている。ロボットは、ウエハ支持体がウエハを保持しているときは第1の速度で駆動装置を動作させ、ウエハ支持体がウエハを保持していないときは第2の速度で駆動装置を動作させる制御装置も含んでいる。
Claim (excerpt)：
複数のステーションの近傍に配置された可変速度ロボットにおいて、ウエハを保持することができ、あるときはウエハを保持しながらまたあるときはウエハを保持することなく前記複数のステーションの間を移動することができ、さらに第1の方向と第2の方向に移動できるウエハ支持体と、前記ウエハ支持体を回転および往復運動させるためにこのウエハ支持体に接続する駆動装置と、前記ウエハ支持体がウエハを保持しているときの速度および加速度に関する第1の組と、前記ウエハ支持体がウエハを保持していないときの速度および加速度に関する第2の組とにおいて前記駆動装置を制御する制御装置と、を備えた可変速度ウエハ交換ロボット。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/02
