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J-GLOBAL ID：200903039431956925

粒子線照射装置

Inventor：
三宅 浩二

About 三宅 浩二


Applicant, Patent owner：
日新電機株式会社

About 日新電機株式会社


Agent (1)： 藤田 龍太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995292117
Publication number (International publication number)：1997106778
Application date： Oct. 12, 1995
Publication date： Apr. 22, 1997
Summary：
【要約】【課題】 デッドスペースをなくし、種々の大面積の形状に対応し、照射面積の有効化を図る。【解決手段】 プラズマ19を発生しイオンを生成するプラズマ室18と、前記プラズマ室18に磁場を発生させる磁場発生手段と、前記プラズマ室で生成されたイオンを電界で引き出しイオンビームを生成する引き出し電極23を備えたイオン源を、隣接して複数個配列したイオン源装置、あるいは前記引き出し電極のかわりに前記プラズマを試料台方向に拡散放出させるプラズマ放出口を備えたプラズマ源を、隣接して複数個配列したプラズマ源装置において、前記プラズマ室外形状、あるいはイオン引き出し電極形状またはプラズマ源形状を多角形状とする。
Claim (excerpt)：
プラズマを発生しイオンを生成するプラズマ室と、前記プラズマ室に磁場を発生させる磁場発生手段と、前記プラズマ室で生成されたイオンを電界で引き出しイオンビームを生成する引き出し電極を備えたイオン源を、隣接して複数個配列したイオン源装置、あるいは前記引き出し電極のかわりに前記プラズマを試料台方向に拡散放出させるプラズマ放出口を備えたプラズマ源を、隣接して複数個配列したプラズマ源装置において、前記プラズマ室外形状、あるいはイオン引き出し電極形状またはプラズマ源形状を多角形状とした粒子線照射装置。
IPC (6)：
H01J 37/317 ,  C23C 14/48 ,  H01J 27/08 ,  H01J 27/18 ,  H01J 37/08 ,  H05H 1/46
FI (6)：
H01J 37/317 Z ,  C23C 14/48 Z ,  H01J 27/08 ,  H01J 27/18 ,  H01J 37/08 ,  H05H 1/46 A
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
  • 特開昭63-279552
  • 特開平4-282549
  • 特開平1-296600
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Cited by examiner (2)
  • 特開昭63-279552
  • 特開平4-282549

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