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J-GLOBAL ID：200903039445901988

結晶性薄膜用電極

Inventor： 鮫島 克己
Applicant, Patent owner： ローム株式会社
Agent (1)： 古谷 栄男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993069659
Publication number (International publication number)：1994283706
Application date： Mar. 29, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 基板表面に損傷を与えることなく、配向性の高い結晶性薄膜を形成する。【構成】 下部電極13は、タンタル層11、チタン層12および白金層6から構成されており、下部電極13の上にPZT薄膜8が設けられている。下部電極13にチタン層12が設けられていることから、PZT薄膜8の結晶性をよくすることができる。したがって、白金層6を形成する際、熱処理が不要となるので、リフトオフ法を用いることができる。

Claim (excerpt)：

タンタルで構成された第1層、前記第1層の上にチタンで構成された第2層、前記第2層の上に白金で構成された層であって、この層の上には、複合酸化物の結晶性薄膜が形成される第3層、を備えたことを特徴とする結晶性薄膜用電極。