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J-GLOBAL ID：200903039458805970

透明導電性フィルムおよびその製造方法

Inventor： 宮崎 龍法 ,  林 明峰 ,  松本 賢次 ,  斎木 幸治
Applicant, Patent owner： 鐘淵化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992342849
Publication number (International publication number)：1994196023
Application date： Dec. 22, 1992
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 水蒸気バリヤー性、酸素バリヤー性、導電性および透明性に優れ、かつフィルム基板と透明バリヤー性薄膜との付着力が大きい透明導電性フィルムおよびその製造方法を提供する。【構成】 透明フィルム基板上に、ケイ素酸化物を主体とする金属酸化物、またはケイ素窒化物を主体とする金属窒化物の透明バリヤー性薄膜が20〜100nmの厚みで形成され、さらにインジウム酸化物を主体とする金属酸化物の透明導電性薄膜が20〜200nmの厚みで形成された透明導電性フィルムであって、該フィルム基板を含む透明バリヤー性薄膜の酸素透過度が1ml/m2/日以下および水蒸気透過度が1g/m2/日以下であり、かつフィルム基板と透明バリヤー性薄膜との付着力が100g/cm以上である、透明導電性フィルム。

Claim (excerpt)：

透明フィルム基板上に、ケイ素酸化物を主体とする金属酸化物、またはケイ素窒化物を主体とする金属窒化物の透明バリヤー性薄膜が20〜100nmの厚みで形成され、さらにインジウム酸化物を主体とする金属酸化物の透明導電性薄膜が20〜200nmの厚みで形成された透明導電性フィルムであって、該フィルム基板を含む透明バリヤー性薄膜の酸素透過度が1ml/m2/日以下および水蒸気透過度が1g/m2/日以下であり、かつフィルム基板と透明バリヤー性薄膜との付着力が100g/cm以上である、透明導電性フィルム。

IPC (6)：

H01B 5/14 ,  B32B 9/04 ,  C08J 7/06 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/08 ,  H01B 13/00 503

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特開平1-130408
  
• 特開平1-130409
  
• 特開昭63-108614
  
• 特開平4-306513
  

Cited by examiner (8)

• 特開平1-130408
  
• 特開平1-130408
  
• 特開平1-130409
  
• 特開平1-130409
  
• 特開昭63-108614
  
• 特開昭63-108614
  
• 特開平4-306513
  
• 特開平4-306513