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J-GLOBAL ID：200903039472224009

液晶表示装置およびその製造方法

Inventor： 林 慎一郎 ,  江本 文昭 ,  安部 由朗 ,  小林 和憲
Applicant, Patent owner： 松下電子工業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992198163
Publication number (International publication number)：1994043486
Application date： Jul. 24, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 薄膜トランジスタのドレイン領域と液晶用画素電極とのコンタクト抵抗を低減し、かつ液晶の配向の均一な液晶表示装置を得ることを目的とする。【構成】石英基板1に形成した多結晶シリコンからなる薄膜トランジスタのドレイン領域2d上にドレインコンタクトとして金属シリサイド薄膜9を形成したのち、この金属シリサイド薄膜9を介してITO薄膜からなる画素電極10を形成し、ドレイン領域近傍の段差を減少して液晶の配向を均一にする。

Claim (excerpt)：

透光性の絶縁基板上にシリコンを主成分とする半導体薄膜からなる薄膜トランジスタを構成要素として形成した液晶表示用画素において、前記薄膜トランジスタのドレイン領域とその上に設けた導電性酸化物薄膜よりなる画素電極との電気的接続において、金属シリサイド薄膜を介在させることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/40 ,  H01L 29/784