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J-GLOBAL ID：200903039475678329

分光器

Inventor： 原田 洋一
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993020408
Publication number (International publication number)：1994229828
Application date： Feb. 08, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【構成】 副波長分散素子として平面回折格子を用い、主波長分散素子と駆動軸回りに適当な角度をなすように固定し、波長幅の狭い光源からの光を副波長分散素子に入射させて、その回折光を用いて主波長分散素子の駆動位置を検知する分光器。【効果】 主波長分散素子が 0〜90度の間で用いられるときに、副波長分散素子の回折角はおおよそ±45度以内になる。この範囲内では角分散があまり変化しないので、回折光の間隔はあまり変化しない。このため、副検出器の幅を常に一つ以上の回折光を入射させながら、位置検知精度を上げるために最適の条件に設定することができる。

Claim (excerpt)：

入射スリットと、主波長分散素子と、出射スリットと、分光された光を検出する主検出器と、主波長分散素子を駆動する駆動部と、駆動部を制御する制御部と、波長幅の狭い光を発生する光源と、主波長分散素子と固定して駆動される副波長分散素子と、副波長分散素子からの回折光を検出する列状に並んだ複数の検出素子を有する副検出器とからなる分光器に於て、副波長分散素子として平面回折格子を用いると共に、主波長分散素子と副波長分散素子とが、駆動軸回りに角度を持って固定されることを特徴とする分光器。

IPC (2)：

G01J 3/18 ,  G01J 3/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-049127
  
• 特開昭58-131521
  
• 特開平2-061528