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J-GLOBAL ID：200903039491445750
アライメントシステム
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡部 敏彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994251500
Publication number (International publication number)：1996097129
Application date： Sep. 20, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 撮像素子の性能やアライメントマークの面積を変更することなく、位置決め精度を向上させる。【構成】 位置決め対象物に付されるアライメントマークSの形状を四角形とし、撮像素子の格子状の画素Pに対して相対的に所定角度だけ回転させる。
Claim (excerpt)：
位置決め対象物に付されたアライメントマークを撮像素子により読取って位置決めを行う際にアライメントマークの重心位置を求めてアライメントを行うアライメントシステムにおいて、前記アライメントマークの形状を四角形とし、前記撮像素子の格子状の画素に対して相対的に所定角度だけ回転させたことを特徴とするアライメントシステム。
IPC (4)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, H01L 21/68
, G06T 7/00
H01L 21/30 525 D
, G06F 15/62 405 C
