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J-GLOBAL ID:200903039506380951
測定用光学機器の誤差補正装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
神保 欣正
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998232390
Publication number (International publication number):2000056231
Application date: Aug. 05, 1998
Publication date: Feb. 25, 2000
Summary:
【要約】【課題】 異なる倍率の対物レンズを切り換えて使用した際に生ずる測定誤差を解消する。【解決手段】 各対物レンズの鏡筒5に共通外径箇所を設けると共に、切り換えられた対物レンズの共通外径箇所の光学機器本体1に対する位置を検出する手段を設けることにより、対物レンズの切り換え時における光軸のずれ量を検知し、このずれ量を記憶して測定時における実測値を補正する。
Claim (excerpt):
異なる倍率の対物レンズを切り換えて使用する測定用光学機器において、各対物レンズの鏡筒に共通外径箇所を設けると共に、切り換えられた対物レンズの共通外径箇所の光学機器本体に対する位置を検出する手段を設けることにより、対物レンズの切り換え時における光軸のずれ量を検知し、このずれ量を記憶して測定時における実測値を補正することを特徴とする測定用光学機器の誤差補正装置。
IPC (3):
G02B 21/00
, G01N 21/01
, G01N 21/27
FI (3):
G02B 21/00
, G01N 21/01 Z
, G01N 21/27 E
F-Term (14):
2G059AA10
, 2G059JJ11
, 2H052AB05
, 2H052AB21
, 2H052AD14
, 2H052AD17
, 2H052AD18
, 2H052AD20
, 2H052AD33
, 2H052AD36
, 2H052AF03
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF23
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