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J-GLOBAL ID：200903039514946930

表面形状測定の方法および装置

Inventor： 根岸 真人
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991220011
Publication number (International publication number)：1993209741
Application date： Aug. 30, 1991
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】 3次元座標測定機を用いる形状測定において、移動精度、スライドの重心の変位に伴う歪み、温度変化に伴う伸縮による測定誤差をなくす。【構成】 XYZ座標上での測定プローブの位置を検出X0 ,Y0 ,Z0 するとともに、測定テーブル自体のXYZ座標上での位置についても2個所づつ検出X1 ,X2 ,Y1 ,Y2 ,Z1 ,Z2 し、1軸につき得られる3つの検出値よりその検出個所の位置関係に基づいて算出される値を、各軸の測定値とする。さらに、Z軸アームの傾きについて、測定プローブの取付面の3個所で位置検出を行ない、それらから算出される値をZ0 として採用して誤差補正を行なう。

Claim (excerpt)：

ベース定盤面の水平面上にXY軸、垂直方向にZ軸をとった3次元座標系において、ベース定盤に対してXY方向に位置決めが可能にXYテーブルを設け、XYテーブルの移動範囲の上方にベース定盤に対してZ方向に位置決めが可能にZ軸アームを設け、該Z軸アームの下端に設けた測定プローブをXYテーブルの上面に固定された被測定物の表面に一定圧力で接触するように、Z軸アームを上下する制御系を設け、XYテーブルを移動しながら被測定物のZ座標を1点づつ測定する表面形状測定方法において、XYテーブルの上面にX軸を長手方向とする基準面を被測定物に対して-Y側と+Y側とに一定距離隔てて2つ設け、またYZ平面内で、Y軸を長手方向とする固定基準面をXYテーブルの上方でその移動範囲に亘り水平にベース定盤に固定して設け、また、YZ軸平面内において前記固定基準面を基準に、そこから前記測定プローブまでのZ座標距離Z0 及び前記2つの基準面までのZ座標距離Z1 ,Z2 をそれぞれ測定する各測定手段を設け、被測定物のZ座標値を次の関係式Z=(L1 ×Z2 +L2 ×Z1 )/(L1 +L2 )-Z0(但し、L1 ,L2 はZ0 ,Z1 ,Z2 の各測定点の間の距離を表わす)から求めることを特徴とする表面形状測定方法。