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J-GLOBAL ID：200903039519910747
欠陥検査方法及びその装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999140070
Publication number (International publication number)：2000329699
Application date： May. 20, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 検査対象物の撮像画像から得られる各画素毎の濃度データに基づいて欠陥を検査する場合に,良品画像と上記撮像画像との濃度差が所定の閾値内にあるか否かで欠陥検出を行う場合には,検査対象物に,場所による濃度のバラツキや生産ロット毎の濃度のバラツキ等があると誤判定される場合があった。【解決手段】 検査対象物の濃淡画像Aに移動平均処理を行い(S2),得られた移動平均処理画像ave(A)と上記濃淡画像Aとの差分画像Sを求め(S3),該差分画像Sと所定の閾値とに基づいて各画素の良否を判定する(S4)。即ち,濃度が移動平均濃度から大きくかけ離れている場合にその画素を欠陥画素であると判断する相対的な欠陥判定を行う。これにより,検査対象物の場所による濃度のバラツキや,生産ロット毎の濃度のバラツキ等がある場合でも,濃度補正等の処置を行うことなく,容易且つ正確に欠陥検出を行うことが可能である。
Claim (excerpt)：
検査対象物を撮像して得られる濃淡画像に基づいて上記検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において,上記濃淡画像に所定の平滑化処理を施す平滑化工程と,上記平滑化工程で得られた平滑化画像と上記濃淡画像との間の濃度差を求める濃度差算出工程と,上記濃度差算出工程で得られた濃度差に基づいて各画素における良否を判定する欠陥判定工程とを具備してなることを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/88 J
, G06F 15/62 405 A
2G051AA65
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA20
, 2G051EA08
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EB01
, 2G051ED09
, 2G051ED23
, 5B057AA03
, 5B057CE05
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DC22
