Pat

J-GLOBAL ID：200903039542203489

位置ずれ量測定光学系の調整方法および位置ずれ量測定装置

Inventor： 鈴木 高彦
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994277124
Publication number (International publication number)：1996115874
Application date： Oct. 17, 1994
Publication date： May. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】高精度に位置ずれ量を測定することができる位置ずれ量測定光学系の調整方法および位置ずれ量測定装置を提供することにある。【構成】同じ位置ずれ量測定パターンを180°回転させてずれ量を測定し、回転前のずれ量との差を採ることにより、光学系の歪みに影響されないで本来のずれ量に近い値を第3のずれ量として得て、検出器の検出中心を第3のずれ量に対応する視野分だけ移動させることにより、検出器の検出中心を光学系の本来の中心に一致させるものである。

Claim (excerpt)：

視野の中心にその中心が位置付けられ位置ずれ量測定パターンからの光を受光して位置ずれ量を表す検出信号を発生する検出器を有し、前記検出信号により位置ずれ量を測定する位置ずれ量測定装置における測定光学系の調整方法において、前記検出器の検出中心を移動させる移動機構を備え、前記位置ずれ量測定パターンのずれ量を測定して得たずれ量を第1のずれ量とし、この位置ずれ量測定パターンを180°回転させてそのずれ量を測定して得たずれ量を第2のずれ量とし、前記第1のずれ量と前記第2のずれ量との差を第3のずれ量として得て、この第3のずれ量に応じて前記移動機構により前記検出器の中心を前記第3のずれ量に対応する視野分だけ移動させる位置ずれ量測定光学系の調整方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 525 E ,  H01L 21/30 525 X ,  H01L 21/30 525 R