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J-GLOBAL ID:200903039550518987

静電容量型センサ回路

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997179549
Publication number (International publication number):1999023608
Application date: Jul. 04, 1997
Publication date: Jan. 29, 1999
Summary:
【要約】【課題】 静電容量型センサ素子の製造時のバラツキを較正する。【解決手段】 スイッチS1、S4をオンし他のスイッチをオフして、入力電圧Vin及び調整電圧Vmをそれぞれ、センサ素子Cs、調整コンデンサCmに供給する。オペアンプ2のの入出力端間には帰還コンデンサCfが接続されており、該オペアンプの出力からの出力電圧は、Vout=-(Cs/Cf)(Vin-Vf)-(Cm/Cf)(Vm-Vf)+Vfで表される。従って、調整電圧Vmを調整することにより、センサ素子の容量値Csにバラツキがあっても、所定の入力電圧Vinの供給時に、一定の出力電圧Voutを得ることができる。
Claim (excerpt):
静電容量の変化を電気信号として出力する静電容量型センサ回路において、入力電圧を発生する入力電圧発生手段と、発生された入力電圧が第1の端子に供給される静電容量型センサ素子と、該センサ素子の第2の端子に入力端子が接続された増幅器と、該増幅器の入力端子と出力端子との間に接続された帰還コンデンサと、調整電圧を発生する調整電圧発生手段と、発生された調整電圧が第1の端子に供給され、第2の端子にセンサ素子の第2の端子が接続された調整用コンデンサとを備え、調整用電圧を調整することにより、センサ素子のバラツキを較正可能にしたことを特徴とする静電容量型センサ回路。
IPC (3):
G01P 15/125 ,  G01D 5/241 ,  G01P 21/00
FI (3):
G01P 15/125 ,  G01P 21/00 ,  G01D 5/24 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 特表平5-501159
  • 特開平4-303775
  • 力測定装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-269456   Applicant:セーエスウーエム・サントル・スイス・デレクトロニク・エ・ドゥ・ミクロテクニク・エスアー・ルシェルシュ・エ・デヴェロプマン
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