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J-GLOBAL ID：200903039604713861

ガラス製光学部品の撥水製反射防止膜およびその製造 方法

Inventor： 三田村 宣明
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993269531
Publication number (International publication number)：1995104102
Application date： Sep. 30, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 反射防止特性を低下させることなく、撥水性を付与する。【構成】 ガラス基板上にMgF2 層を最表層とした反射防止層を形成し、反射防止層上に光学的膜厚が5nm以下のSiO2 からなる密着層を形成し、この上に光学的膜厚が5nm以下の含フッ素シリコンからなる撥水層を形成して反射防止膜とする。密着層により撥水層の密着性が向上し、密着層および撥水層が5nm以下の膜厚のため反射防止層の反射防止特性に悪影響を与えない。

Claim (excerpt)：

ガラス基板の表面に真空蒸着により形成されフッ化マグネシウムからなる最表層を有した単層または多層の反射防止層と、この反射防止層の表面に真空蒸着により形成された光学的膜厚が5nm以下の二酸化ケイ素からなる密着層と、この密着層上に真空蒸着により形成された光学的膜厚が5nm以下の含フッ素シリコンからなる撥水層とを備えていることを特徴とするガラス製光学部品の撥水性反射防止膜。