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J-GLOBAL ID：200903039611792092

信号検出装置、該信号検出装置によって構成した走査型原子間力顕微鏡、および信号検出方法

Inventor： 紫藤 俊一 ,  井辻 健明
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000305135
Publication number (International publication number)：2002116132
Application date： Oct. 04, 2000
Publication date： Apr. 19, 2002
Summary：

【要約】【課題】プローブ変位検出のための機構を簡単化することができ、また複数のプローブを用いる場合においても検出系の構成を簡便化することができ、省スペース化を図ることが可能な信号検出装置、該信号検出装置によって構成した走査型原子間力顕微鏡、および信号検出方法を提供する。【解決手段】プローブと試料との間に働く原子間力を検出し、それらの信号の変化から該試料表面の凹凸あるいは電気特性を測定する信号検出装置において、前記プローブを、該プローブの支持基板上の平板電極と、それに対向して設けられた該プローブ上の平板電極との間に働く静電力によって駆動し、該電極間の静電容量の変化から、前記プローブの変位を検出するように構成する。

Claim (excerpt)：

プローブと試料との間に働く原子間力を検出し、それらの信号の変化から該試料表面の凹凸あるいは電気特性を測定する信号検出装置において、前記プローブを、該プローブの支持基板上の平板電極と、それに対向して設けられた該プローブ上の平板電極との間に働く静電力によって駆動し、該電極間の静電容量の変化から、前記プローブの変位を検出する機構を有することを特徴とする信号検出装置。

IPC (3)：

G01N 13/16 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30

FI (4)：

G01N 13/16 A ,  G01N 13/16 C ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30

F-Term (35)：

2F063AA02 ,  2F063AA43 ,  2F063BB01 ,  2F063CA34 ,  2F063CA40 ,  2F063DA01 ,  2F063DA04 ,  2F063DB04 ,  2F063DD02 ,  2F063DD06 ,  2F063EA16 ,  2F063EB01 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063HA01 ,  2F063HA20 ,  2F063LA01 ,  2F063LA04 ,  2F063LA11 ,  2F063LA29 ,  2F063LA30 ,  2F063MA05 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069BB40 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG20 ,  2F069GG62 ,  2F069GG65 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069MM24 ,  2F069NN00