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J-GLOBAL ID：200903039614124368
板状体の処理装置及び搬送装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
井上 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992108769
Publication number (International publication number)：1993178416
Application date： Apr. 01, 1992
Publication date： Jul. 20, 1993
Summary：
【要約】【目的】 板状体の処理ステ-ションと受け渡しステ-ションとを備えた処理装置についてコンパクト化を図り、また高速な板状体の受け渡しを行うこと。【構成】 半導体ウエハの塗布/現像ステ-ションS1の搬出入口に面して冷却機能を兼ねた中間受け渡し台4を設ける一方、進退自在なピンセット6を備えた受け渡し用搬送機構5を昇降自在、回転自在にかつ中間受け渡し台4の下方位置を通過するように構成し、当該搬送機構5にウエハのセンタリング用の位置決め機構65を組み合わせる。また受け渡しステ-ションS2には搬入載置台71、搬出載置台72を位置固定して設け、搬送路の両側にバッファ用キャリアCを配置する。更に処理ステ-ションS1内にてメイン搬送路が分割している場合、処理部の最上段にメイン搬送アーム間の受け渡し用待機部を設ける。
Claim (excerpt)：
板状体を処理するための処理ステ-ション内の処理部用搬送機構と、受け渡しステ-ション内の外部受け渡し用載置部との間で、進退自在な板状体保持部材を備えた受け渡し用搬送機構により中間受け渡し台を介して板状体を搬送する処理装置において、前記中間受け渡し台と受け渡し用搬送機構との間の板状体の受け渡しにおいて一時板状体を載置するためのバッファ用載置部を受け渡し用搬送機構の搬送路に臨む位置に設け、前記受け渡し用搬送機構を、昇降自在及び回転自在に構成すると共に、前記中間受け渡し台と上下に重なる位置にて処理部用搬送機構の搬送路と交差する方向に移動自在に構成したことを特徴とする板状体の処理装置。
IPC (4)：
B65G 1/07
, B65G 49/07
, H01L 21/027
, H01L 21/68
H01L 21/30 361 Z
, H01L 21/30 361 C
, H01L 21/30 361 H
, H01L 21/30 361 L
