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J-GLOBAL ID：200903039642582789

微小異物解析方法、分析装置、半導体装置の製造方法および液晶表示装置の製造方法

Inventor： 藤野 直彦
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000375963
Publication number (International publication number)：2002181725
Application date： Dec. 11, 2000
Publication date： Jun. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 異物検査装置と分析装置とを用いて試料表面の微小異物を解析する際に、微小異物の位置を、受光装置に損傷を与えずに、能率よく高精度であらためて分析装置上で検出する方法および装置を提供する。【解決手段】 その微小異物の試料表面における位置を分析装置10上であらためて検出する分析装置での位置検出工程を備え、この位置検出工程は、異物検査装置30で求められた微小異物の大きさ情報または散乱光強度情報を用いて、受光装置における信号強度を予測して、ビーム光23の強度と受光装置5のゲインとの組み合わせを選定する組合せ選定工程を備える。

Claim (excerpt)：

異物検査装置において試料表面に存在する微小異物のその試料表面における位置と大きさとを、前記微小異物からの散乱光を測定することによって求め、次いで、前記試料を、ビーム光出射装置と受光装置とを有する分析装置の座標ステージに移し、前記異物検査装置で求められた位置を前記分析装置の座標ステージの座標にリンクさせ、その分析装置において前記試料表面における微小異物を解析する解析方法であって、前記リンクされた位置を含む前記試料の部分領域に前記ビーム光出射装置からのビーム光をスポット照射し、前記微小異物による前記ビーム光の散乱光を暗視野部において前記受光装置で受光する際の信号強度を、前記異物検査装置で求められた微小異物の大きさ情報および散乱光強度情報のうちの少なくとも一方を用いて予測して、前記ビーム光の強度と前記受光装置のゲインとの組み合わせを選定する組合せ選定工程と、前記組合せ選定工程で選定されたビーム光強度と受光装置のゲインとの組合せにおいて、前記ビーム光の散乱光を受光し、その微小異物の前記試料表面における位置を検出する位置検出工程とを備える、微小異物解析方法。

IPC (12)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/00 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/12 ,  G01N 13/16 ,  G01N 13/22 ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/66

FI (12)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/00 H ,  G01N 1/00 101 B ,  G01N 13/10 F ,  G01N 13/12 A ,  G01N 13/16 A ,  G01N 13/22 A ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/66 J

F-Term (71)：

2F065AA03 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH16 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP24 ,  2F065SS13 ,  2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA04 ,  2G001AA05 ,  2G001AA07 ,  2G001BA05 ,  2G001BA06 ,  2G001BA07 ,  2G001BA08 ,  2G001BA09 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001CA05 ,  2G001DA01 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA04 ,  2G001HA13 ,  2G001JA16 ,  2G001KA01 ,  2G001KA03 ,  2G001KA08 ,  2G001KA12 ,  2G001LA05 ,  2G001LA11 ,  2G001MA04 ,  2G001MA05 ,  2G001PA01 ,  2G001PA30 ,  2G051AA51 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051EA14 ,  2G051FA10 ,  2H088FA13 ,  2H088FA17 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  4M106AA01 ,  4M106CA43 ,  4M106DB02 ,  4M106DB04 ,  4M106DB20 ,  4M106DH01 ,  4M106DH12 ,  4M106DH13 ,  4M106DH24 ,  4M106DH25 ,  4M106DH50 ,  4M106DJ21