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J-GLOBAL ID：200903039644609250

照明光学装置

Inventor： 工藤 祐司
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993128642
Publication number (International publication number)：1994216008
Application date： May. 31, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】簡素な構成としながらも、高い照明効率を維持できる高性能な照明光学装置の実現にある。【構成】光束を供給する光源と、所定形状の開口部を有する回転対称型反射鏡と、該回転対称型反射鏡によって集光された前記光源からの光束を平行光束に変換するコリメート光学系と、該平行光束によって複数の2次光源を形成する多光源形成手段と、該多光源形成手段からの光束を集光して被照射物体を均一に照明するためのコンデンサー光学系とを有し、前記コリメート光学系は、前記回転対称型反射鏡の反射面の像を前記多光源形成手段の入射面上に形成する。

Claim (excerpt)：

光束を供給する光源と、所定形状の開口部を有する回転対称型反射鏡と、該回転対称型反射鏡によって集光された前記光源からの光束を平行光束に変換するコリメート光学系と、該平行光束によって複数の2次光源を形成する多光源形成手段と、該多光源形成手段からの光束を集光して被照射物体を均一に照明するためのコンデンサー光学系とを有し、前記コリメート光学系は、前記回転対称型反射鏡の反射面の像を前記多光源形成手段の入射面上に形成することを特徴とする照明光学装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 521