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J-GLOBAL ID:200903039655038905

ダイヤモンドの析出方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991250399
Publication number (International publication number):1993058784
Application date: Sep. 02, 1991
Publication date: Mar. 09, 1993
Summary:
【要約】【目的】非ダイヤモンド質を含まず、基体への密着性の高いダイヤモンド膜を得る。又、一定の模様等を形成するようにダイヤモンド膜を析出させる。【構成】ダイヤモンド結晶の臨界核径に近い2〜100nmの粒径のダイヤモンド超微粒子を基体表面に付着させた後、これを結晶核として気相合成法で膜状ダイヤモンドを析出させる。又、前記ダイヤモンド超微粒子を基体表面の特定の領域に付着させることにより、生成したダイヤモンド膜が一定の模様等を形成するように設定する。
Claim (excerpt):
基体表面に粒径2〜100nmのダイヤモンド超微粒子を付着させた後、該基体表面に気相合成法により前記ダイヤモンド超微粒子を結晶核とする膜状ダイヤモンドを形成させることを特徴とするダイヤモンドの析出方法。
IPC (2):
C30B 29/04 ,  C30B 25/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平2-097486
  • 特開平4-132690

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