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J-GLOBAL ID:200903039657839891

位置検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992149494
Publication number (International publication number):1993340717
Application date: Jun. 09, 1992
Publication date: Dec. 21, 1993
Summary:
【要約】【目的】 誤差の小さい位置検出を行う。【構成】 フォーカスレンズの位置検出への応用例である。固定レンズ190及びフォーカス移動レンズ190は光学系を形成し、フォーカスレンズ190は移動方向Aで位置が変化し、ピント合わせが行われる。スリット板110は、フォーカスレンズ190の動きに対し1次元的に移動し、レンズ・スリット取り付け具170を介して移動方向Aと同じ方向Bに動くようになっている。LED120からはスリット板110,光位置検出器140に平行光線が与えられる。スリット板110は、2のスリット110a,bが設けられている。スリット110aは、x方向に対して傾斜をもった形状で形成され、スリット110bは逆の傾斜をもった形状で形成されている。
Claim (excerpt):
第1及び第2のスリットをもち、測定対象の動きに応じて1次元的な移動をする部材と、前記第1及び第2のスリットを通過した光について前記移動の方向に垂直な方向に対する位置をそれぞれ検出し、その位置に対応した検出信号を出力する検出手段とを有し、前記第1のスリットは、前記移動の方向に対して傾いて形成され、前記第2のスリットは、前記移動の方向に対して前記第1のスリットとは異なるか、又は逆の傾きで形成されていることを特徴とする位置検出装置。

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