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J-GLOBAL ID：200903039676511791

窒化ケイ素焼結体とその製造方法

Inventor： 山田 俊行
Applicant, Patent owner： 株式会社いすゞセラミックス研究所
Agent (1)： 山本 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995269487
Publication number (International publication number)：1997087036
Application date： Sep. 22, 1995
Publication date： Mar. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高強度の表面を有する窒化ケイ素焼結体を得る。【解決手段】 窒化ケイ素を主成分とし、アルミニウム(Al),イツトリウム(Y ),タンタル(Ta)の酸化物または窒化物の少なくとも1種を含む粉末から成形体を成形し、成形体を焼結する。成形体の表面をケイ素粉末により被覆し、窒素を含有する雰囲気中で焼成する。窒化ケイ素焼結体の表面近傍部、つまり表面から深さが0〜500μmの表層部に含まれるアルミニウム成分の含有率εA に対する、表面から深さが500〜1000μmの内層部に含まれるアルミニウム成分の含有率εB の割合(εA/εB) を1.5以下にする。

Claim (excerpt)：

窒化ケイ素を主成分とし、アルミニウム(Al),イツトリウム(Y ),鉄(Fe),タンタル(Ta)の酸化物または窒化物の少なくとも1種を含む窒化ケイ素焼結体であつて、窒化ケイ素焼結体の表面からの深さ0〜500μmの層に含まれるアルミニウム成分の含有率εA に対する窒化ケイ素焼結体の表面から深さ500〜1000μmの層に含まれるアルミニウム成分の含有率εB の割合εA/εBが1.5以下であることを特徴とする窒化ケイ素焼結体。