放射線感応性樹脂組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大垣孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992017588
Publication number (International publication number)：1993216237
Application date： Feb. 03, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】高感度かつ高いO2 -RIE耐性を有する新規な放射線感応性樹脂組成物を提供すること。【構成】ポリ(ジ-t-ブトキシシロキサン)0.5gと、酸発生剤としてのトリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート50mgと、溶剤としての2-メトキシ酢酸エチル4mlとを混合して放射線感応性樹脂組成物を構成する。

Claim (excerpt)：

単量体単位毎にC-O-Si結合を有する線状のポリ(シロキサン)と、放射線の作用により分解して酸を発生する酸発生剤とを含むことを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/075 511 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/038 505 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

特開平3-103856
特開平3-103854
特開昭60-121446

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