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J-GLOBAL ID：200903039715705957

異物検出感度校正標準ウエハ

Inventor： 横山 芳人 ,  井上 雅弘 ,  青木 章佳
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993266910
Publication number (International publication number)：1995120404
Application date： Oct. 26, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 疑以異物部の識判性が高い異物検出感度校正標準ウエハの提供。【構成】 異物検出感度校正標準ウエハ(校正ウエハ)1においては、シリコン基板6の表面に直接またはLSIパターン5上に凸型形状の疑以異物部3(凸型疑以異物部7)が複数整列形成されている。整列配置により、異物検出装置による検出時、検出したものが、疑以異物部3か異物やLSIパターンによるものかの識別が適格となる。凸型疑以異物部7の散乱光強度を、下地回路パターンの散乱光強度より明瞭に大きくなるように形状を設定して検出散乱光量を多くし、疑以異物部3の識別を確実に行う。疑以異物部3の大きさは列毎に順次小さくなり、検出列から異物検出装置の感度の良否,感度が特定できる。

Claim (excerpt)：

半導体ウエハの表面に疑以異物部を複数整列形成してなる異物検出感度校正標準ウエハであって、前記各疑以異物部は凸型構造となっていることを特徴とする異物検出感度校正標準ウエハ。

IPC (4)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/01 ,  H01L 21/66