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J-GLOBAL ID：200903039733829760

感光性樹脂組成物及びレリーフパターンの製造法

Inventor： 萩原 秀雄 ,  鍛治 誠 ,  小島 康則
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994088384
Publication number (International publication number)：1995092682
Application date： Apr. 26, 1994
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 煩雑な製造工程を必要とせず、塩化物等による汚染もなく、膜特性、耐熱性、接着性、像形成性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 カルボキシル基及び/又はフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性ポリマ(A)及び光照射によりアミン系化合物を発生する化合物(B)を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物並びにこのポジ型感光性樹脂組成物の塗膜上にパターンを描いたマスク上から活性光線を照射し、照射部を現像除去することを特徴とするレリーフパターンの製造法。

Claim (excerpt)：

カルボキシル基及び/又はフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性ポリマ(A)及び光照射によりアミン系化合物を発生する化合物(B)を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (2)：

H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 569 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-162040
  
• 特開平2-298947
  
• ポジ型フオトレジスト組成物、感光性絶縁膜およびパタ-ン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-217332   Applicant：日東電工株式会社
• 化学線感応性重合体組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-328032   Applicant：東レ株式会社