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J-GLOBAL ID：200903039735184562

高周波装置

Inventor： 加藤 努
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995233776
Publication number (International publication number)：1997082496
Application date： Sep. 12, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【目的】 高周波出力をパルス的に動作させた場合でも、オートマッチングを適正に行うことができる高周波装置高周波装置を実現する。【構成】 検出器2によって検出されたインピーダンスZに応じた信号は、ピークホールド回路12に供給され、ピークホールド回路12の出力が第1の制御回路8に供給される。一方、検出器2によって検出された位相差θに応じた信号は、ピークホールド回路13に供給され、ピークホールド回路13の出力が第2の制御回路10に供給される。この結果、第1と第2の制御回路8,10には、高周波出力信号がオフの時にも検出信号にほぼ比例した信号が供給されることから、モータ9,11を高周波出力が0となったときでも回転させることができる。

Claim (excerpt)：

高周波電源と、高周波電源からの高周波電力が供給される負荷と、電源と負荷との間に配置され、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサとコイルとから成るマッチングボックスと、それぞれのコンデンサを調整するためのモータと、マッチングボックスに入力する高周波の入力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位相差を検出する検出器と、検出された入力インピーダンスと位相差とに基づいてモータを駆動し、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサを自動的に調整するための調整手段とを備えた高周波装置において、各検出器の検出信号をホールドするホールド回路を設け、ホールド回路からの信号を各調整手段に供給するように構成した高周波装置。

IPC (5)：

H05H 1/46 ,  C23C 14/40 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/3065

FI (5)：

H05H 1/46 R ,  C23C 14/40 ,  C23F 4/00 C ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/302 B