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J-GLOBAL ID：200903039737644277

加速度センサ及びその製造方法

Inventor： 友成 恵昭 ,  吉田 仁
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994262182
Publication number (International publication number)：1996122361
Application date： Oct. 26, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 加速度センサの感度及び歩留りの向上を図る。を提供する【構成】 シリコンで構成され、中央部に空洞部11aを備えた基板11の空洞部11aの表面側の開口11bに梁12が形成され、その梁12の裏面側に、シリコンで構成された第1おもり部13が形成され、その第1おもり部13に、シリコンで構成された第2おもり部15が固着されている。【効果】 チップサイズを増大させずにおもり部分の質量を大きくできる。

Claim (excerpt)：

シリコンで構成され、空洞部を備えた基板の前記空洞部の表面側の開口に梁が形成され、その梁の裏面側に、シリコンで構成された第1おもり部が形成され、その第1おもり部に、シリコンで構成された第2おもり部が固着されていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  H01L 29/84