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J-GLOBAL ID：200903039754584431

電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡の操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体

Inventor：
古川 裕

About 古川 裕

, 
平田 朋彦

About 平田 朋彦


Applicant, Patent owner：
株式会社キーエンス

About 株式会社キーエンス


Agent (2)： 豊栖 康司 ,  豊栖 康弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002324897
Publication number (International publication number)：2004158364
Application date： Nov. 08, 2002
Publication date： Jun. 03, 2004
Summary：
【課題】低真空観察のための像観察条件を容易に設定できる電子顕微鏡等を提供する。【解決手段】電子顕微鏡は、試料の特性を指定する試料指定手段と、試料の特性に基づいて真空度の設定を含め予め設定された複数の簡易像観察条件から一の像観察条件を設定可能な簡易像観察条件設定手段と、複数の異なる簡易像観察条件に基づいて簡易的に複数の簡易観察像を結像し表示部に表示するプレビュー機能を設定するプレビュー設定手段と、像観察条件として試料上の電子線のスポットサイズ、加速電圧、検出器の種類、真空度の内少なくともいずれかを任意に設定可能な個別条件設定手段とを備える。真空度をパラメータに含む複数の像観察条件に基づいて複数の観察像を簡易的に結像し、第2表示領域に表示するプレビュー機能を実行する。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
像観察条件に基づいて、電子銃に加速電圧を印加して電子線を試料に照射し、試料から放出される二次電子または反射電子を1以上の検出器で検出しながら試料表面の所望の領域を走査することで、観察像を結像し表示部に表示可能な電子顕微鏡であって、 少なくとも真空度の設定を含む複数の異なる簡易像観察条件を設定する簡易像観察条件設定手段と、 前記簡易像観察条件設定手段で設定された複数の簡易像観察条件に基づいて、簡易的に撮像された複数の簡易観察像を表示するための第2表示領域と、 を備え、 前記第2表示領域で表示された複数の簡易観察像から所望の簡易観察像を選択することで、選択された簡易観察像に対応する像観察条件を設定し、観察像を撮像するよう制御される電子顕微鏡。
IPC (4)：
H01J37/28 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22 ,  H01J37/24
FI (4)：
H01J37/28 B ,  H01J37/18 ,  H01J37/22 502A ,  H01J37/24
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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