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J-GLOBAL ID：200903039777078010

高純度ラダーシリコーンポリマ溶液の製造法及び塗布液

Inventor： 島村 泰夫 ,  山本 靖浩 ,  森嶋 浩之 ,  内村 俊一郎
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993072635
Publication number (International publication number)：1994287303
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ラダーシリコーンポリマに含まれる金属イオンやハロゲンイオンなどの不純物を低減させ、半導体デバイスなどの信頼性を向上させる。【構成】 ラダーシリコーンポリマ溶液をイオン交換樹脂に接触させる高純度ラダーシリコーンポリマ溶液の製造法およびこのポリマを含む塗布液。

Claim (excerpt)：

ラダーシリコーンポリマ溶液をイオン交換樹脂に接触させることを特徴とする高純度ラダーシリコーンポリマ溶液の製造法。

IPC (3)：

C08G 77/34 NUE ,  C08L 83/04 LRR ,  C09D183/04 PMV