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J-GLOBAL ID：200903039778089610

FIBアシストデポジション装置のガス供給装置

Inventor： 笠原 春生
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992118857
Publication number (International publication number)：1993315287
Application date： May. 12, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ノズルから材料へ吹き出させるガスの量を制御することができるFIBアシストデポジション装置のガス供給装置を実現する。【構成】 図3の状態では、内側容器35はその一端36が開口38内部に挿入され、ノズル31へのガスの供給は停止される。内側容器35が移動させられ、容器35の一端が開口38から外されると、ノズルへのガスの供給が開始される。内側容器35をより右側に移動させ、端面40と41の形成するバルブの排気コンダクタンスを制御すれば、ノズル31から吹き出されるガスの量を調整することができる。駆動部34により、更に内側容器35を図中右側に移動させると、内側容器の他端の端面40と外側容器30の内側の端面41とが接触し、容器内部の排気動作は停止されることになり、ノズル31から試料に向け吹き出されるガスの量は最大となる。

Claim (excerpt)：

ノズルから有機金属ガスを材料に向けて吹き出させると共に、材料上でイオンビームにより所定のパターンを描画するようにしたFIBアシストデポジション装置のガス供給装置であって、加熱可能な第1の容器と、第1の容器の一端に設けられ、ノズルと連通した第1の開口と、第1の容器の他端に設けられ、排気系と連通した第2の開口と、第1の容器内に配置されその内部にガス化物質が入れられた第2の容器と、第1の容器の一方の端部内側と第2の容器の一端とが構成する第1のバルブ構造と、第1の容器の第2の開口部と第2の容器の他端が構成する第2のバルブ構造と、第2の容器を第1の容器内で第1の開口と第2の開口との間で移動させるための駆動手段とを有したFIBアシストデポジション装置のガス供給装置。

IPC (5)：

H01L 21/285 ,  H01L 21/285 301 ,  C23C 16/48 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/268