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J-GLOBAL ID：200903039786474085
搬送方法及びその装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
秋本 正実
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996230704
Publication number (International publication number)：1998074815
Application date： Aug. 30, 1996
Publication date： Mar. 17, 1998
Summary：
【要約】【課題】 ウエハカセットのハンドリング及び搬送を高クリーン状態のままで実現すること。【解決手段】 局所クリーンルーム1内のプロセス装置3に対し、処理すべきウエハ5を収納したウエハカセット6を外部から搬送するとき、また装置3で処理されたウエハ5を収納したウエハカセット6を外部に搬送するとき、ウエハカセット6を高クリーン状態を維持したままで搬送できるので、しかもウエハカセット6をカセットポッド17から取り出すときや、カセットポッド17に収容するときでも高クリーン状態を保つので、ウエハカセット6内のウエハ5が全く汚染されるおそれがなくカセット搬送の無人化・自動運転化を実現し得る。
Claim (excerpt)：
局所的に高クリーン状態の環境下に保たれかつロット単位でウエハを処理する処理装置を有するクリーンルームの所定位置に対し、複数のウエハを収納したカセットを出し入れする搬送方法であって、A)予め、局所クリーンルームより低いクリーン状態の雰囲気に生成された外部で走行可能で、かつ内部に本体室とこれと気密状態に保たれると共にウエハカセットを収容するカセットポットが投入されるポッド室とを夫々形成した搬送ユニット設けておき、B)搬送ユニットのポッド室に、処理装置で処理すべきウエハ収納のウエハカセットを収容したカセットポッドを投入したとき、ポッド室内の空気を外部に排気し、C)次いで、搬送ユニットを局所クリーンルームに移動し、搬送ユニットのカセット出入口を局所クリーンルームのカセット出入口に接続した時点で、両カセット出入口間の空気を外部に排気し、D)その後、ポッド室内のカセットポッドからウエハカセットを本体室内に取り出し、該取り出したウエハカセットを把持すると共に、本体室から前記両カセット出入口を経て局所クリーンルームの所定位置に搬送して受け渡し、E)また、処理装置によって処理されたウエハを収納したウエハカセットが局所クリーンルーム内の所定位置にセットされると共に、空のカセットポッドが搬送ユニットのポッド室に投入されたとき、ポッド室内の空気を外部に排気し、F)次いで、搬送ユニットを局所クリーンルームに移動し、搬送ユニットのカセット出入口を局所クリーンルームのカセット出入口に接続した時点で、両カセット出入口間の空気を外部に排気し、G)局所クリーンルーム内の所定位置にセットされ、かつ処理装置によって処理されたウエハを収納しているウエハカセットを、把持して本体室に搬送し、H)その後、本体室内のウエハカセットをポッド室に入れて該ポッド室内のカセットポッドに収容することを特徴とする搬送方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 Z
