Pat

J-GLOBAL ID：200903039812012486

真空に依る、ウエハーテープ貼り機

Inventor： 大塚 政彦
Applicant, Patent owner： 有限会社マイティエンジニアリング
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001225189
Publication number (International publication number)：2003007808
Application date： Jun. 20, 2001
Publication date： Jan. 10, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】大気中でローラーを用いてウエハーにテープを貼る際に、ウエハーとテープ間に空気が残留し、次工程で障害が発生していた。これを解決する、ウエハーとテープ間の空気残留が零となろテープ貼り機を提供する。【解決手段】ウエハーと、ウエハーに貼るテープのついたシートリングを本体にセットし、ゴムシートの付いた上蓋を載せ、本体側の部屋と上蓋側の部屋とを真空にし、その後、上蓋側の部屋を大気に切り替えて膨張するゴムシートでテープを押圧して貼り付ける。

Claim (excerpt)：

ウエハーにテープを貼るのに真空を用いる方法

F-Term (5)：

5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031MA37 ,  5F031NA05 ,  5F031PA30